二手 SEMITOOL STI 260D #9206432 待售

SEMITOOL STI 260D是一种光刻设备，设计用于光刻工艺。它是一个两室垂直湿蚀刻处理器，容量高达200mm2。该系统配有浸入式微真空搅拌装置（SMVAS），以确保光刻胶在蚀刻过程中的均匀溶解。SMVAS波以4 Hz的频率和25mm的波高穿过蚀刻室，导致感光层的溶解高度均匀。处理器的潜入式微真空搅拌机允许使用各种蚀刻工艺，如氯基蚀刻、氨基蚀刻、湿蚀刻磷酸和臭氧蚀刻。此外,SMVAS旨在减少许多蚀刻过程中通常遇到的背面蚀刻。这使得它非常适合用于高分辨率应用程序。处理器配备了5步控制器,并安装在标准的19英寸10U机架式机箱中。5步控制器是一款先进的计算机控制过程控制器，提供了当今现代光刻生产所需的易于使用、准确、可靠的过程控制。每个步骤的控制都是使用直观的软件界面独立实现的。这为当今最先进的光刻应用提供了高水平的重复性和准确性。处理器的基板支架最多可容纳200毫米2,因此非常适合生产批次大于实验室中通常看到的批次。此外，蚀刻剂的温度可以手动调节，也可以由控制器调节，达到最佳效果。该工具还具有安全功能，可以在气体、溶剂和蚀刻化学品成为危险之前自动将其关闭。STI 260D是任何光刻工艺的绝佳选择。它的五步控制器和SMVAS实现了准确、可靠和可重复的过程控制,同时其安全功能确保了安全高效的工作场所。该资产非常适合200 mm2或更少的生产批次,并安装在标准的19英寸10U机箱中。