二手 SEMITOOL STI 860 #293757364 待售

SEMITOOL STI 860是为半导体工业应用而设计的先进光刻加工设备。该系统包括用于光刻加工和开发的硬件平台和软件组件，为用户提供用于制备用于光刻的基板和光掩模的综合解决方桉。STI 860由湿板凳、轨道和各种配置的光刻模块（螺旋或线性）组成。湿式工作台是一种不锈钢工作面，有排水和冲洗位置，用于加工和开发光掩模。此外，长凳还包括一条排出化学烟雾气氛的通风管。轨道容纳模块，每个模块包括一个光刻胶模块、一个显影剂模块和一个干燥站。光致抗蚀剂模块由一个自旋卡盘、一个底物定心站和一个装有光致蚀剂溶液的储罐组成。开发者模块装有自旋卡盘、开发者溶液罐和干燥站。干燥站可以调整，以允许不同的基材类型和配置。SEMITOOL STI 860设计具有许多功能,可提供安全高效的光刻处理体验。该机组配有晶片送料机、载波装载机、晶片卸载机，以减少处理时间，提高机器吞吐量。此外，该工具还配备了背面污染控制和基板完整性检查站，以确保适当处理基板。STI 860是半导体行业可靠可靠的光敏处理资产。该模型具有广泛的特点，可确保快速、安全的光刻工艺。该设备非常适合光掩码开发、晶圆缺陷检测、光刻等应用。