二手 SEMITOOL STI 860 #9012259 待售

SEMITOOL STI 860光刻设备是一款功能强大、可靠且高度先进的机器，旨在满足现代半导体行业的需求。该系统在手动和自动晶圆处理应用程序中均具有极好的一致性和可重复性。该装置设计用于所有类型的光刻工艺，包括抗旋涂层、曝光后烘烤、显影和蚀刻步骤。STI 860内置了用于处理晶圆、掩模和吊舱等基材的控件。SEMITOOL STI 860机采用六站式炮塔设计，通过前后两侧为基板的装卸提供了极好的可及性。STI 860的腔室设计在整个晶片表面提供均匀的交联抗蚀剂流动方面也非常高效。前体输送工具具有机械臂和流动分布资产，可确保光刻胶在旋转应用过程中的精确均匀分布。SEMITOOL STI 860设备中还包括一个先进的Resist Spin Dryer模型，确保均匀干燥和排除有害的环境污染物。精密的载荷板设计使晶片在自旋涂层过程中能够精确定位，并允许均匀的抗蚀性厚度和均匀性。通过包括重型电机，提高了机器的耐用性，提供精确的流体运动控制。STI 860还配备了由隔热玻璃组成的大型观景窗，让用户更好地监控内部过程的进展。此外,自动控制系统非常方便用户,操作简单。SEMITOOL STI 860凭借其高性能、可靠性和自动化，是半导体行业的绝佳选择。高度先进的设备可提供高效的解决方桉,满足各种光刻需求,并可轻松集成到大多数现代半导体制造过程中。STI 860也是晶圆制造和抗加工的绝佳选择，提供准确、可重复和均匀的结果。