二手 SEMITOOL STI 860 #9395485 待售
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SEMITOOL STI 860是一个光刻设备，设计方便晶圆处理先进的微电子。该系统的自动化解决方桉化学,提供浸入、喷雾和循环时间用户选项,以提供一致、可靠的抗稀释效果,从而获得最佳光刻效果。该装置采用密封环境，以减少空气中颗粒的暴露，并采用直接带状加热机和底部加热器输送机，以确保均匀加热和一致润湿。定制喷嘴设计在晶片表面上提供精确、一致的分布,不会过度喷涂,而晶片周围薄薄、低速的溶剂窗帘可通过精确的温度控制有效地去除光致抗蚀剂。触摸屏界面为用户提供了该工具操作的图形概述,使用户能够轻松访问设置并跟踪流程步骤。此外,该资产还具有直观的安装向导,可为不熟悉该模型的用户提供分步说明。STI 860的专利工艺技术允许用户定制循环参数以匹配每种单独的光刻胶的性能。该设备还具有可选的侧壁保护功能,可在曝光后烘烤和浸入阶段提供卓越的光阻保护,从而提高晶圆产量。SEMITOOL STI 860提供高达每小时60个晶圆的高吞吐量，允许用户在不牺牲质量或周期可重复性的情况下减少周期时间。此外，自动化系统消除了人工清洗，减少了污染风险，并确保每次均匀的结果。
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