二手 SEMITOOL STI 870D #9307758 待售
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ID: 9307758
Rinser / Dryer
Handle substrates diameter: 3"-6"
Dual stack
Wafer cassettes, 6"
(2) Rotors: H BAR IN, 2800 RPM MAX, BAL 0-25, A194 60MB
Operation / Maintenance manual.
SEMITOOL STI 870D是一种光阻设备,设计用于实现微电子封装、变薄和晶圆级MEMS/NEMS。它为基材处理、光刻加工和微加工提供了一个集成、高质量、经济高效的平台。该系统由几个部件组成,包括一个湿站、预清室、预烘烤室、微制成室、计量单元。湿式站用于在基板表面涂抹薄膜和液体光致抗蚀剂,允许精确的基板对准和沉积。预清洁室使用化学物质和机械磨损的组合来去除基板上的任何表面污染物。然后,预烤室使用化学气相沉积技术蒸发基板上任何剩余的有机材料。然后,微型制造室使用高功率激光将光刻胶绘制成数百万个单独的电路特征。最后,计量机测量电路特性的精度和分辨率。该工具设计为符合半导体行业要求,能够重现复杂的形状、显着的特征大小差异和强烈的几何精度。科技创新870D超过了电子电子微制造工艺的效率、上市时间和成本控制。它拥有一套全面的资产监控和过程控制软件,为工程师提供实时数据,以作出有教养的决策。该模型维护程度低,成本低,易于修改以处理不同的基板和特征尺寸。设备也极为精确和可重复,非常适合大批量生产。总体而言,SEMITOOL STI 870D是一种先进的光阻系统,旨在实现高效、经济高效的微电子封装和制造。它为基板材料处理、光刻加工和微制造提供了一个集成平台,为工程师提供高分辨率的图样和几何精度。
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