二手 SEMITOOL / VERSATILE TECHNOLOGIES SRD 07 #9308550 待售

SEMITOOL / VERSATILE TECHNOLOGIES SRD 07
ID: 9308550
Spin Rinse Dryer (SRD).
SEMITOOL/VERSATILE TECHNOLOGIES SRD 07是一种领先的光刻设备,用于在各种基板上的光刻应用。光刻涉及将基板暴露于光,以便创建图像、图样或结构,用于半导体和其他微电子制造。SEMITOOL SRD 07设计用于此过程,提供可靠、精确且经济的系统。VERSATILE TECHNOLOGIES SRD 07具有在整个运动范围内精确到不到一微米的基板定位单元。它还包含一个双光束激光对准机,由两个在XY平面上布置的激光束源组成,确保基板的高度精确配准,以确保精确的图样形成。激光随后通过可变狭缝面罩,实现抗蚀层的曝光。此外,SRD 07由于其高速晶圆运输工具和高容量的抵抗罐,提供了优越的模式能力。抵抗罐能够容纳直径达8英寸的晶片,允许大量生产许多基材。此外,晶圆传输资产在对准基板时提供了更高的稳定性和准确性。SEMITOOL/VERSATILE TECHNOLOGIES SRD 07包含精密的光刻能力,提供高分辨率的图样和优异的特徵保真度。这是通过先进的光束光学模型实现的,该模型由线扫描电子束组成,减少了曝光时间,提高了特征尺寸的精度。最后,SEMITOOL SRD 07提供自动对准功能,确保每次都能准确放置基板。此功能对大批量生产过程非常有利,因为它减少了人为错误并提高了生产率。简而言之,来自SEMITOOL的VERSATILE TECHNOLOGIES SRD 07光刻设备是一个功能强大、灵活的光刻应用系统。其精确度、精确度和自动化程度使其成为微电子元件生产中的理想选择。
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