二手 SEMITOOL / VERSATILE TECHNOLOGIES ST-870 #9265365 待售

SEMITOOL/VERSATILE TECHNOLOGIES ST-870是一种光阻设备,专为多级、MEMS、MCM和其他先进半导体器件的大批量生产而设计。该系统具有高效的液相和气相处理层流工艺规范。这允许精确的胶片覆盖和过程重复。此外,SEMITOOL ST-870还具有多区域射频偏置板。该压板提供快速的热处理，在满足严格的处理需求的同时，允许可靠和可重复的过程。该单位配备了一个综合数据管理机器，能够快速和方便地跟踪和报告数据。VERSATILE TECHNOLOGIES ST-870有多种工艺室，包括预清洁室、抗剥离室、溶剂剥离室和自旋涂层室。这使得该工具能够处理各种光刻胶应用。该资产还设有一个现场计量室，可进行层厚度测量、层轮廓测量和缺陷分析的一般检查。该模型利用全球控制的计算机网络进行过程控制和数据分析。这提供了复杂的过程控制和分析功能。用户友好的触摸屏界面易于操作和配置。ST-870的整体热流状况高达900°C，适合各种材料。该设备还具有一系列定制功能，包括工艺数据跟踪系统、多区域加热板以及晶圆和载波的自动化管理。综上所述，SEMITOOL/VERSATILE TECHNOLOGIES ST-870是为生产多级、MEMS、MCM和其他先进半导体器件而设计的先进光刻装置。它具有高效率的层流处理和各种工艺室，包括预清洁室、抗剥离室、自旋涂层室和原位计量室。该机配备了用于过程控制和数据分析的网络化计算机控件。此外,该工具还提供了一系列自定义功能,包括流程数据跟踪资产、多区域加热平台以及晶圆和载波的自动化管理。