二手 SEMITOOL WSST-408A #9401359 待售

SEMITOOL WSST-408A光刻设备是一种全自动的单晶片湿条系统。该装置设计用于在可控大气中从单个晶片中剥离光致抗蚀剂，使用可编程和过程控制的剥离溶液。该机最多可处理400mm晶片，尺寸包括8.12，或15英寸（200,300，或350mm）。该工具包括一个储罐，可容纳40升剥离溶液和一个温控计量泵，有四个通道和五个搅拌磁铁。化学剂量由数字泵控制器精确控制，而可编程控制器则管理程序步骤。不锈钢反应室设有四个浓缩舱壁和一个P21的空气流通资产，以及一个紫外线/臭氧灯和气体喷射系统。自动晶片处理模型将晶片送入和送出反应室。该设备还配备了TurboX真空泵，用于自动排出液体和气体。WSST-408A可以用多种溶液剥离光致抗蚀剂，如盐酸、硫酸、氢氧化铵、过硫酸钾和过氧化氢。它还能够在高达60°C的温度下剥离晶片，从而获得更高程度的晶片表面清洁度和更大的剥离更困难的抗蚀剂的能力。最终结果是均匀性更高，产量增加，吞吐量更大。该系统是为流程灵活性而设计的，具有简单的软件用户界面，使操作员能够调整参数以改变流程条件。SEMITOOL WSST-408A单元具有广泛的特点，使其成为高产光刻胶剥离工艺的理想选择。