二手 SEMITOOL WSST-608-AG #293616248 待售
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SEMITOOL WSST-608-AG是一种用于晶片表面制备和加工的光刻设备。该系统旨在满足晶圆清洗、图样传输、抗剥离、洗涤等要求。WSST-608-AG设备采用先进的技术来提供卓越的性能和可靠性。SEMITOOL WSST-608-AG旨在为各种行业应用提供服务。其应用范围包括半导体和MEMS器件清洗开发、硅片精密光刻、有机膜热固化等。该机采用工业级不锈钢框架、6位晶片升降机、晶片预处理热板和晶片旋转轨道进行精确晶片转移。它还具有自动晶片卡带装卸的集成选项。该工具旨在帮助半导体制造商以最短的周期时间实现精确一致的光刻结果。它使用先进的等离子体灰化工艺,以确保晶片的表面被彻底清洁到所需的规格。它利用高性能的实时臭氧监测资产来精确控制工艺参数。WSST-608-AG采用各种自动化流程和传感器构建,以简化操作并确保最高的生产率。它允许快速和自动的生产周期以获得最大的产量,并允许全自动晶圆处理以获得精确和一致的结果。该模型具有内置的温度和压力控制设备,以确保每个应用程序的工艺参数得到优化。温度范围为-10°C至+125°C,是加工多种材料的理想选择,包括聚合物和多孔聚酰亚胺。它还配备了气体流量控制系统,确保准确的气体流量和化学溷合比。SEMITOOL WSST-608-AG的设计符合GMP、SEMI-S8、BS EN ISO-9000、E305和ISO-14040标准。它还有一个内置的刚性热外壳,以减少噪音污染,促进更高的能源效率。该设备有2年保修和全天候技术及客户支持。
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