二手 SEMITOOL WSST-608-AG #9410291 待售
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ID: 9410291
晶圆大小: 6"
Wet strip system, 6"
Chemical liquid supplying unit
Chemical liquid recovering unit
(2) Automatic carbon dioxide systems
Pure water unit
(2) Fire dampers
Accessories.
SEMITOOL WSST-608-AG是一种光刻设备,由多个部件组成,这些部件协同工作以创建高精度的光学元件,用于半导体工艺。该系统由自动化平台、软件和过程控制组件组成，提供了一套集成的光刻解决方桉。光刻的核心是刀头。这是处理晶片的主要工具，负责图像的投影和对齐。WSST-608-AG具有基于MEMS的投影工具头,可生成高达0.2微米图像分辨率的自定义图像。它还具有高级对齐功能,例如完整的线性和倾斜调整范围,这有助于确保模式的精确对齐。该装置还采用两阶段烘烤工艺，以确保光刻胶的完整性。加热炉提供温柔和更强烈的加热，这取决于应用。它还使用机器人晶片处理，以确保晶片的处理谨慎和准确。SEMITOOL WSST-608-AG包括允许用户创建和自定义工作流、优化光刻设置和监控过程结果的软件。该软件包括多种选项，允许用户创建自定义配方和设置，以满足其应用程序的独特需求。它还包括一个常用设置的库，允许用户快速、轻松地自定义进程设置。软件提供了图形用户界面,使调整和监视设置变得更加容易。最后,机器具有多个过程控制组件,包括控制器、显示器和传感器。工艺控制器为工具提供精确控制,确保每一层都能精确地处理。该资产还配备了声学信号监控设备，有助于检测任何异常或模型错误。这样可以确保设备处于最佳状态。总之，WSST-608-AG光刻胶系统被设计为高精度光学元件的完整解决方桉，如半导体工艺中使用的光学元件。它具有坚固的基于MEMS的投影单元、高级对齐功能、两级烤箱、自动晶圆处理以及随附的软件套件。这台机器为用户提供了一个集成的解决方桉，以确保准确性和可重复性。
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