二手 SEMITOOL WSST-805A #9270149 待售

SEMITOOL WSST-805A光电抗蚀剂设备是一种先进的晶片自旋涂层和开发技术，为高质量的薄膜介电层提供可靠的沉积和处理。该系统采用晶圆技术，与铝、铜、陶瓷、硅、石英等多种常见基板兼容。它专门设计用于处理直径最大为8英寸的晶片,并在晶片的整个表面实现均匀覆盖。该单元具有气动操作的卡盘，可容纳直径达8英寸的晶片，并以最大450 rpm的自旋速度运行。它还包括0-50赫兹转速范围的晶圆电机。对于均匀的晶片覆盖,机器具有可自动调节的旋转斜坡速率,可以设置该速率以实现每种基板的最佳涂层厚度。该工具还配备了有助于确保薄膜沉积均匀性的冲洗资产。该模型使用抗蚀剂罐进行光刻和显影剂的交付。将抗蚀剂罐加热至最佳温度,以便在加工过程中达到最大均匀性。加热用热电偶完成，由温度控制的加热器控制。温度控制在不同的加工温度范围内是可调整的，这取决于抗蚀剂的类型。定时装置允许操作员设置设备，以预编程间隔传送所需的光刻胶量。该装置还具有监测光刻胶浓度并相应调整电平的能力。该系统旨在确保每个处理步骤均具有准确、可重复的薄膜均匀性。该单元还包括一个闭环反馈回路，可以检测过程条件的变化并调整机器以保持一致的处理。WSST-805A光敏工具是为现代半导体制造而设计的，在薄膜介电层沉积中具有较高的可靠性和精确度。它与多种常见的基材兼容，可用于加工直径达8英寸的晶片。它还配备了加热设备和定时装置，以确保所需的光致抗蚀剂浓度和薄膜沉积的均匀性。该模型还配备了一个闭环反馈回路，该回路设计用于监控和调整过程条件，以确保批次之间的性能一致。