二手 SEMITOOL WSST #9097196 待售

SEMITOOL WSST是一种先进的光阻设备，利用紫外线激光技术在半导体材料上创建图样。该系统旨在以可靠的一致性和准确性提供可重复的长期结果。该单元由两个主要组件组成-激光源和级。装有声光调制器（AOM）的紫外线激光源控制激光功率。这提供了对阵列区域的精确控制,从而实现了高分辨率特征清晰度。此外,控制器还具有许多可调参数,可让操作员调整强度、频率和脉冲持续时间。舞台是机器的核心；它由三个独立的组件组成-基板支架、液晶监视器和曝光映射工具。基板支架支持直径最大为6英寸的基板，允许在单个批次中对基板进行多重抗性图样化。液晶监视器允许对基板进行精确定位，使操作员能够将激光束与图桉区域精确对齐。曝光映射资产在阵列绘制过程中测量曝光地图，以便操作员能够确保所需的图桉正确曝光。该模型还包括一个基于Web的GUI,以便于操作。界面允许用户配置激光功率、脉冲数和曝光时间等设置。此外，GUI还提供有关设备现状的实时反馈，包括图样制作进度和基板温度。综上所述，WSST是一种高精度的光刻系统，能够对各种半导体材料进行可靠的阵列。该单元具有直观的基于Web的GUI和先进的激光技术,可精确控制阵列制作过程。