二手 SEMITOOL WSST #9097197 待售

SEMITOOL WSST是一套光刻加工系统,旨在满足广泛的光刻要求。该设备由三个主要部件组成：主加工室、负载锁定室和浴缸。主室设计用于半导体制造过程中光刻涂层的沉积、蚀刻和清洗。它配备了用于高速真空抽水的涡轮泵，具有支持广泛过程、温度和压力的能力。负载锁定室用于在进入主室之前将预处理过的晶片转移到惰性大气中。该腔室还用作保持主腔室内部最佳真空条件的缓冲器。浴缸模块是一种低压喷雾系统，用于清洗加工步骤之间的晶片，在高级应用中也可用于轨道清洁和锡涂层。该单元进一步配备了两个独立的计算机控制器，以监控和控制过程参数。控制器与主腔室、负载锁腔室和浴缸连接,可访问各种参数设置,包括腔室温度、气流和处理时间。控制器还配备了等离子体点火系统，提供全面的数据记录、故障记录以及过程参数的实时显示。WSST为各种半导体元件和应用提供可靠、经济高效的光刻和光刻处理解决方桉。它配备了创新的过程管理和控制系统，为光刻沉积、蚀刻和清洁提供可重复、统一的结果，以及复杂的性能监测和故障诊断程序。该机设计具有优异的柔韧性，在严密的过程控制下保证了最优的光刻性能。