二手 SEMITOOL WSST #9097198 待售

SEMITOOL WSST
製造商
SEMITOOL
模型
WSST
ID: 9097198
晶圆大小: 8"
Wet strip system, 8".
SEMITOOL WSST是一种设计用于半导体晶圆的光阻设备。该系统是建立在一个垂直的概念,使开发者能够快速和精确地应用光致抗蚀剂,开发和清洁晶片。该单元是为满足光刻的高吞吐量需求而设计的,使晶片能够通过机器前部装卸。装载站配有机械臂,可控制地分配光刻胶。机械臂连接到SEMITOOL晶片跟踪工具,为晶片提供精确的对准和精确的定位。一旦光致抗蚀剂沉积,晶片就会到达显影站。该资产能够在晶圆上提供统一的发展时间和温度,从而提高精度和可靠性。显影剂含有流化床喷涂显影剂,使显影剂具有极好的均匀性。该模型还包括现场化学库存设备,以提高效率和便利性。一旦光致抗蚀剂被开发出来,晶片就会到达清洁站。该站配有微滤系统,提供一个防止晶圆污染的清洁环境。微滤装置能够清除空气中的颗粒和洁净室污染物,包括离子、灰尘和其他污染物。WSST是一种可靠高效的光刻机床,能够以极高的精度和精确度发展晶片。该工具的垂直概念允许快速加载和卸载晶片,并提供统一的显影时间和温度。微滤资产确保每个晶片保持清洁环境,机械臂确保精确和精确的光刻沉积。因此,SEMITOOL WSST是半导体行业研究人员和开发人员必不可少的设备。
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