二手 SEMITOOL WSST #9146530 待售

SEMITOOL WSST是一种革命性的光阻设备,它使光掩码的开发具有比以往更高的分辨率和更高的精度。该系统由一系列机械和光学元件组成，它们协同工作，在光掩模上创建图像，精度高达1.0微米。WSST单元由两个主要组件组成。第一种是自旋夹具周期主轴，它为光掩模提供了精确控制的环境。第二个组成部分是强大的光学器件，产生高度均匀和局部化的电磁（EM）能量，用于开发光掩模。自旋夹具周期主轴为光掩模过程提供了最佳环境。它们可以旋转并锁定到任何所需的配置中，因此可以精确调整与光掩码处理相关的所有参数。主轴还具有温度传感器，能够精确控制主轴的速度和方向。强大的光学器件产生均匀的局部电磁能量，用于开发光掩模。这种EM能量是由一系列激光器和激光二极管产生的，可以被定向到光掩模上的任意一点。该机还配备了真空工具，可用来确保面罩均匀暴露出均匀的EM能量。一旦EM能量被引导到光掩码，它通过蚀刻掉蒙版的部分被转换成图样。这一过程由另一组精确的光学器件控制，这些光学器件用低功率激光扫描光掩模，并检测将被蚀刻掉的图样。一旦检测到图样,确定的图样将被蚀刻到光掩码中。此过程非常精确,可以创建分辨率高达1.0微米的patter。除了强大的光学和主轴外,SEMITOOL WSST资产还具有多种其他组件,可确保精确的成像过程。其中包括超声波调节器、自动校准模型、自动对焦设备和故障安全系统。因此,WSST为创建光掩码提供了革命性的解决方桉。该单元提供了无与伦比的精度和精确度,并且可以创建分辨率高达1.0微米的阵列。这台机器非常方便用户，可由一个操作员轻松操作。它是任何组织依靠精确和准确的照片掩码的宝贵工具。