二手 SEMITOOL WSST #9400944 待售

SEMITOOL WSST是一款由SEMITOOL inc.设计制造，于2000年发布的光阻设备。它是一个自动化的亚微米光刻系统，具有各种不同的光刻胶和特性。该设备采用可编程扫描仪，可容纳多达28个12英寸和6个系统的基板，其速度是SEMITOOL以前的光刻平台WFST的两倍。这台机器涵盖了从晶圆清洗到湿法/干法蚀刻和光刻胶带的一系列应用。各向异性等离子体蚀刻提供了较高的层选择性，先进的3D悬浮技术即使使用凹面或非平面基板也能实现均匀的薄膜厚度。WSST针对接触面修复、多层绝缘蚀刻和背面直接成像等线路后端工艺进行了优化。除了SEMITOOL提供的高标准可靠性之外,它还支持增加额外的性能。它的部件是完全的空气轴承闭合力学，它提供了最小的振动，以确保平衡的热环境，高效的操作和卓越的可靠性。此外,SEMITOOL还包括集成选项,如高电流光刻胶应用程序和独特的高清扫描功能。它可容纳一系列不同的解决方桉,如用于单个基板生产的附加轨迹输出/轨迹输入（T/T）工具,以及用于弓形、角形和全局温度漂移的集成补偿的可选事务性产品通道（TPL）。此外，SEMITOOL WSST设计用于I类洁净室环境，最高温度为135摄氏度，最大光敏厚度为3500埃。它的尺寸与自动化的工艺材料、计算机控制和安全的前后紧凑设计相集成,该设计安装了标准的25英尺长的负载锁和无尘的氮气环境,以确保原始的清洁度。WSST光刻胶资产提供了无需人工干预即可处理其全部光刻胶产品、接触面膜和MOEMS的能力。它提供了多种功能来满足特定的流程要求,且开销更低。其特点和应用范围使其成为任何亚微米光刻工艺的理想选择。