二手 SEMITOOL WST 172 #142238 待售

SEMITOOL WST 172光刻设备是一种最适合半导体/MEMS晶圆加工的自动喷涂系统。它具有高度的可配置性，并支持多种化学方法，具有研制厚度范围为0.1-4 μ m、均匀度为3-4%的涂层的能力。该单元一次最多可处理八个晶片，并设计有一个平台，可与多种工艺模块配合使用，包括预清洁、喷涂涂层、显影剂和洗涤器。该机采用集成直产喷嘴分配歧管工具，以高分辨率生成均匀涂层厚度。主机装有机器人端效应器（Robot End Effector，REE）、喷雾喷嘴、执行器和传感器。喷嘴可调节，便于控制液滴尺寸、喷雾角度和喷雾压力，以及喷雾图样的定位。REE是机械驱动的,提供可调节的广播配置,以实现最佳的喷雾均匀性。气溶胶以受控的方式均匀分布，以确保准确、一致和可重复的涂层结果。WST 172具有集成的双压板旋转功能,可对齐两个或多个用于涂层的晶片,每个晶片的加工时间约为15分钟。其他特点包括用于产生精确模式的高级模式控制、可编程喷雾速率的多步调整、用于验证涂层的颗粒监测资产以及用于过程中惰性和受控环境阴影的氮模块。该模型有一个专用的用户界面以及在此过程中出现的任何问题的警报。该设备以低温喷雾工艺运行，使其适合与各种基材一起使用，包括塑料、玻璃和GaAs。喷雾工艺有助于减少有害的有机溶剂，从而降低灾害风险，防止不必要的损害。SEMITOOL WST 172还能够与其他SEMITOOL机器协调，从而实现更快、更高效的流程。总体而言，WST 172光刻胶系统具有很高的精度和可重复性，适用于从单晶片到大规模加工的应用。该装置确保了高度的均匀性，改进了工艺控制，减少了浪费，使其成为半导体和微加工应用的理想选择。