二手 SEMITOOL WST-306 #9379931 待售

SEMITOOL WST-306是一种光刻剥离设备,用于从基材中剥离和清洁光刻胶.其工作原理是将氢氧化钠和超声波注入腔内。该系统通常用于半导体制造中光刻胶的剥离和清洗。WST-306具有一个可加热至108 °C的开放式工作室，可进行加热化学浴和湍流空化。机组设有三个通道，每个通道用于不同的温度和操作模式。该机还有一个压力表，设计用于进行空腔加压和降压与精确控制。压力表用于在抗蚀带过程中保持指定的压力水平。SEMITOOL WST-306可以容纳直径不超过200 mm的各种尺寸的光刻胶基板。它还与多种光刻胶类型兼容，包括AZ-、SU8-和ArF-光刻胶。该工具包括一个提供平滑机械升力运动的精密旋转升力平台，可以消除对细腻基板的损坏。升降机平台便于进入室内进行清洁和维护。资产可以手动操作,也可以通过自动程序序列操作。在手动模式下,用户可以从各种预先配置的循环参数中进行选择。它还具有可编程周期存储选项,允许存储和召回多达8个用户定义的进程配置文件,以便以后执行。WST-306非常适合从半导体基板中剥离和清洁光刻胶的应用。它是高效可靠的，允许一个一致和可重复的过程。该设备还需要最低限度的维护,使其更具成本效益。