二手 SEMITOOL WST-306MG #9014933 待售

SEMITOOL WST-306MG是为高性能晶圆处理而设计的光刻设备。该系统非常适合为高级设备应用创建纳米级结构。它具有一个可容纳6英寸晶片的自动装载装置以及一个用于精确温度控制的可编程加热器/冷却剂机器。光致抗蚀剂工具还包括一个可控的大气，以防止加工过程中的氧化。WST-306MG包括用于精确处理光刻涂层晶片的几个先进功能。它有三个级别的自动化光学器件来确定每个图样在晶圆上的精确焦点。精密基板表允许在加工之前对齐光刻涂层晶片。这种对齐方式对于大面积薄膜很重要，以防止曝光时模式失真。此外，可以在处理过程中自动调整焦点和舞台位置。SEMITOOL WST-306MG利用精密步进电机将晶片在预定的步长移动到要暴露的区域。此外，它还拥有高长宽比照明资产，可用于材料的三维结构。该模型旨在与标准CAD系统集成,以便进行简单的模式传输。光敏设备设计可靠，性能一致。它具有坚固的无振动刚度,可确保整个过程中的最佳对齐方式。其亚环境干燥处理能力保证了光刻膜的高质量应用。而且，其用户友好的界面使得操作简单高效。WST-306MG最终非常适合于纳米级研究应用,例如光掩模制造、半导体器件制造、光刻掩模制造、薄膜沉积和光学元件生产等应用。其先进的光学和受控环境允许精确和精确的处理来创建纳米级结构。这些纳米结构随后可用于先进设备和产品的开发。