二手 SEMITOOL WST-306MI #137518 待售

SEMITOOL WST-306MI是设计用于大容量光刻生产的先进光刻设备。WST-306MI具有先进的坚固设计,能够支撑300 mm晶片,温度精度和可重复性为0.1°C。该系统由湿式台阶和无菌传输处理器（ATP）组成，用于处理光刻胶和其他液体。SEMITOOL WST-306MI具有集成的输送机,可有效进出工件,包括基板托架和前缘移除夹具。此外，该装置还设计了多种通风选项，以最大限度地提高化学寿命，例如碳基过滤器、光化学处理系统和直列式脱气过滤器。WST-306MI支持正负光抗蚀剂、剥离、开发、模板化和掩蔽湿化学品和显影剂气体等应用。它具有智能用户界面，允许操作员使用预定义的程序或用户定义的配方运行序列。SEMITOOL WST-306MI还提供标准的洁净室接口,并可以通过其集成的监控单元进行远程监控。WST-306MI提供了一个5步光刻胶工艺模块，包括预烤、后烘烤、曝光后烘烤、带状后烘烤和去除后烘烤过程。它还包括基板传输槽内的温度传感器监控和工艺柜的内部传感器监控。总体而言，SEMITOOL WST-306MI是一台先进的光刻机，具有高效的工作流程，能够可靠地处理不同的光刻胶、化学品和显影剂气体。其自动化的处理顺序、用户友好的界面和集成的监控可以带来优异的效果和高效的操作。该工具适用于半导体和光电工业中的大容量应用。