二手 SEMITOOL WST-306MI #81412 待售

SEMITOOL WST-306MI Photoresist Equipment是一种设计用于在基板上对光刻材料进行高精度图案化的系统。这一单元非常适合在半导体和微电子工业中的应用，在这些工业中，精确度和精确度是最重要的。WST-306MI是一种具有投影对齐器（PA）的单室工具,它支持晶圆和掩码交换,并且可以对300 mm晶圆执行精确对齐的阴影成像。该机器还有一个综合污染监测工具（CMS），它允许在工艺室内进行颗粒监测和清洁传感器，以加强清洁和卫生。此外，该资产还支持深层紫外线、i线和深层紫外线/i线光致抗蚀剂工艺。SEMITOOL WST-306MI的工艺室配有统一的低压无化学（ULPCF）散装灯和石英陶瓷光刻涂层。均匀低压无化学物质（ULPCF）散装灯设计为在基板上提供均匀的紫外线和深紫外线图样，以及对光的位置和强度的精确控制。石英陶瓷光刻涂料采用集成的加热器、微泵和风扇，以确保均匀分布的抗蚀涂料，这对于精确的结果至关重要。集成的温度和流动传感器能够准确控制光敏材料的温度和粘度。WST-306MI还支持各种特殊的光刻胶工艺，包括正紫外线、负紫外线、两层光刻胶和单层光刻胶。它还预配置了一个特殊的热控制包,可确保在所有温度下均匀抵抗模式。该模型与大多数类型的感光材料兼容，并具有直观的软件界面，可以轻松设置、监控和控制过程。SEMITOOL WST-306MI提供了可靠、高效、精确的光刻胶图样制作工艺，在工业应用中尤其有益。过程的准确性和均匀性是首屈一指的，而简单的设置和直观的操作使得它适合高通量的应用。这种设备是要求最苛刻的光刻胶图桉应用的理想选择。