二手 SEMITOOL WST-308 #9155122 待售
网址复制成功！
单击可缩放
SEMITOOL WST-308是一种高精度的光刻设备,可用于创建精密的光刻蒙版,用于各种工业和电子应用。该系统具有大小型功能的内置精度和可重复性。SEMITOOL WST 308具有用于所有操作过程的伺服控制精度x、y和z轴。该单元可以使用正向或负向光刻胶，以及用于多层地层的较软的抗蚀剂。该机器能够在不依赖离心力的情况下提起、旋转和放置所有类型的基板。两个注射器泵为分配液体和基于泥浆的光刻剂提供精确和可控的物料流动。泵是可调的，以适应不同的粘度水平和方便和安全操作。该工具针对旋转旋转应用进行了优化，以最大限度地扩大光刻胶在各种基材尺寸上的分布。资产软件中有许多不同的曝光配置文件,从光吞吐量和强度到无像差图像不等。WST-308还具有其他功能,例如用于温度控制处理的可选冷板和能够检测和校正小位置位移的自动框架对齐模型。这样可以确保在不同的材料厚度上始终保持相同的曝光轮廓。总体而言，WST 308是一种可靠的光阻设备，其设计目的是为各种应用提供一致和可重复的结果。它具有同类系统中最高的精度、可重复性和控制级别。该单元具有生产特征尺寸很小的光刻面膜的能力，可用于各种任务，从成像到晶圆和面膜的开发。
还没有评论