二手 SEMITOOL WST-308 #9155218 待售
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ID: 9155218
Solvent spray system
3 Phase
Current: 40 A
Frequency: 50 / 60 Hz
Voltage: 208 V
2010 vintage.
SEMITOOL WST-308是一种功能齐全的光阻处理设备,能够为生产应用提供极其严格的过程控制、精确的可重复性和公差。它提供了多种可以用于光学光束光刻和电子束光刻的湿法和干法可加工光刻胶。SEMITOOL WST 308具有全自动的单晶片工艺系统,可实现精密的光刻涂层、烘烤和前缘边缘清洁。光敏涂层由精确的旋转喷射喷雾Coater™控制，并使用专有的旋转喷嘴在喷洒到晶片上的同时使光敏涂层雾化。该装置具有独立的温度和速度剖面控制功能,可用于精确的涂层厚度、可重复性和附着力.晶片的边缘采用集成的边缘取珠机（Ebe-Bead Remarch, EBRS） ™进行预边缘清洁和干边返工。WST-308工具配备了先进的真空升华烘烤资产，提供精确的均匀性和快速的周转时间。采用双级加热，稳定温度，缓解蒸发锁定点。烘烤模型包括一个恢复功能，以确保在连续载荷之间保持精确的工艺参数。设备加工标准，耐涂层基板从一系列供应商。光刻胶型材和配方可以储存和召回，以供重复使用。该系统满足严格的过程控制参数，具有良好的均匀性和可重复性。该装置能够取代诸如剥离和清洁等关键工艺的手动技术，从而提高工艺性能和产量。该机还具有多种选择和安全功能，包括大气压力监测仪、绝缘油浴和自动安全互锁。WST 308旨在满足各种光刻胶应用的要求,提供强大而准确的性能。此工具为中大批量生产过程提供了出色的灵活性、性能和可靠性组合。
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