二手 SEMITOOL WST-308 #9356458 待售

SEMITOOL WST-308是一种光刻设备,专为超细线（UTL）光刻工艺而设计。该系统能够以可靠、经济高效的方式对200 nm以下的纤细线条和空间进行复杂的阵列设计。SEMITOOL WST 308配备了先进的光学器件，用于在紫外线范围内精确曝光光掩模。该单元内置双波长紫外线源和曝光透镜，数值光圈（NA）为0.49。这样就可以以卓越的精度曝光200 nm以下和200 nm以下的细线的复杂图桉。曝光过程通过可编程的"配方"机控制。此工具允许定义一系列参数,例如暴露强度、剂量和分辨率。这确保了从光刻批次到批次的一致结果和可重复性。WST-308还配备了先进的计量工具，用于掩码检查、过程监测和故障检测。这允许进行过程中的验证和提高产量。该资产还具有一个集成的食谱库，可以对其进行修改以快速开发最佳工艺条件。此外，该型号设计为易于使用和维护。WST 308构建在具有直观图形用户界面的用户友好平台上。这有助于用户快速浏览配方库并根据需要调整参数。SEMITOOL WST-308是一种功能强大且可靠的光刻设备,专为超细线光刻工艺而设计。其先进的光学、自动化的配方系统、集成的计量工具和直观的UI使其成为生产高质量、复杂、具有出色一致性和可重复性的模式的理想选择。