二手 SEMITOOL WST-308A1CCBT #293660328 待售

SEMITOOL WST-308A1CCBT是为先进的半导体光刻应用而设计的光刻设备。该系统的开发是为了使用于制造半导体器件的敏感光刻胶工艺能够更快、更准确、更高的产量。该单元设有单片负载锁、涡轮分子泵、数字温度控制器和完全互锁的安全机器。它采用先进的光学对准工具，以确保光刻工艺中晶片的精确、可重复定位。此外,SEMITOOL WST-308A-1CC-BT还具有可编程逻辑控制器（PLC）,使用户能够配置单个配方和管理资产日志数据。为保证稳定安全的环境，该型号还实现了<2.5 x 10-6 Torr的最大基压。当用于光刻胶加工时，WST-308A1CCBT设备提供了一个45°倾斜角度的平台，帮助减少静力和动力，以实现更高的吞吐量。集成的晶圆船系统最多可容纳8个晶圆，单晶圆负载锁。该装置采用先进的晶片温度控制机，确保晶片温度均匀为+/-0.5°C，这对于持续的光刻胶曝光至关重要。该工具还具有可调偶极子和双极腔，可变光阻水平和均匀性。此外,快速子系统可实现高达1,800 °C/min的速度,确保每个石工循环都能产生优异的效果。WST-308A-1CC-BT还允许使用软烘烤和硬烘烤工艺，确保高长宽比光刻实验的结果无论基材类型如何都保持可靠。最后,SEMITOOL WST-308A1CCBT上的大型液晶显示屏使技术人员能够轻松查看资产信息和监控流程参数。总体而言，SEMITOOL WST-308A-1CC-BT是一种先进的光刻胶模型，旨在支持更快、更准确、更高产量的敏感光刻胶工艺。其高通量和严格控制的光刻参数使其成为先进半导体器件制造的理想解决方桉。