二手 SEMITOOL WST-308M #9077797 待售

SEMITOOL WST-308M是为集成电路（IC）基板的高通量处理而设计的全自动光阻设备。它能够处理多种基材和晶片，包括GaAs、SiC和硅片。它可以达到1000 °C的最高工艺温度，电阻大于150欧姆。WST-308M具有独特的薄膜成分特征和优化的薄膜粗糙度,从而实现了快速、可靠和精确的工艺。它提供了广泛的石刻功能，可以在单级或多级光刻群集中运行。该系统提供与SEMITOOL兼容的标准夹套晶圆载波，或任何其他兼容的工艺单元。除了先进的过程控制和监控功能外,SEMITOOL WST-308M还设计了独特的双面晶圆处理机,可确保最高吞吐量。此工具可确保晶片从头到尾安全处理,从而无需在每个处理步骤中手动旋转基板。该资产还配备了SEMICATOR Prostatronic软件，该软件提供远程流程支持，并具有简单的图形用户界面。它还提供了流程模拟和流程优化功能,允许用户根据自己的特定需求定制流程。WST-308M可用于各种IC基板,如低温处理（LTP）和集成电路（IC）基板,以及多层金属（MLM）沉积、堆叠介电层（SDL）和低温至中温IC基板等晶片。该模型提供了广泛的工艺能力，被认为是市场上最先进的光刻胶系统之一。它的灵活性和精确度使其成为IC基板加工和掩蔽的绝佳选择。