二手 SEMITOOL WST-406MG #7441 待售

SEMITOOL WST-406MG是为各种半导体加工应用而设计的高性能光刻设备。该系统旨在实现理想的亚微米管线和接触孔模式，以及快速均匀的大面积模具模式。该装置配有加工室、加热器、控制装置和软件。该工艺室由304个不锈钢构成，具有可伸缩的石英敏感器圆顶，减少了热梯度。加热器由两个单管浸入式加热器组成，以实现快速周转和最大功耗。温度由独立的电子控制器控制，提供精确的温度控制和整个腔室的均匀加热。该机器采用高强度脉冲相干激光源，能够快速曝光光致抗蚀剂。激光源耦合到机械扫描的Y/Z万向节检流计，提供精确的曝光模式。该工具还具有独特的高精度对准子系统，可确保高精度曝光光刻胶图桉。WST-406MG具有集成的四轨分配单元和温度控制的自动自旋漂洗干燥单元。这样可以以最高的精度、一致性和速度执行晶圆处理。此外，资产还配备了一个锁载站，可以快速装卸，而不会使腔室暴露在室温下。模型的用户界面是基于以太网的图形用户界面（GUI）。这样可以方便地访问设备设置、参数和工艺配方。接口还允许远程操作系统。综上所述，SEMITOOL WST-406MG是一种专为半导体加工应用而设计的健壮、高性能的光阻装置。该机器提供精确的图样，精确的对准和曝光，以及快速和一致的晶圆处理。集成的GUI使操作工具更加方便、方便。