二手 SEMITOOL WST-506MG #9265376 待售

SEMITOOL WST-506MG光刻胶设备是一种可靠、高效、经济高效的旋转涂层,用于在精密涂层应用中将光刻胶层沉积到基板上。WST-506MG配备了Langmuir-Blodgett微米以及一个用于精确基板旋转涂层需求的旋转站。该系统还内置了一个三步控制器，可以精确、重复地控制涂层速度。该单元包括晶片抓握等标准特性，方便安全的晶片操控，双速变速箱和宽直径范围，允许小到大基板的精确涂层。基板装载机用于在旋转前在基板上手动分配抗蚀剂，并允许高速、均匀的涂层。电机为无刷直流电机，轴承安装有高扭矩轴向推力轴承，保证平稳平稳运行，精度一致。机器还具有精密软件套件，允许用户选择多个涂层配置文件，存储配置文件，并对工具进行编程以实现高效的循环时间。此外,SEMITOOL WST-506MG还具有多种安全功能,例如在打开引擎盖时关闭资产的互锁电路和紧急停止按钮。WST-506MG在双图样光刻（DPL）旋转涂层、保形涂层和厚膜旋转涂层方面表现出色。该模型已在S1827、S1813、S1805以及其他专有抗蚀剂等各种抗蚀剂材料上进行了测试。SEMITOOL的结果证明了SEMITOOL WST-506MG对各种涂层要求的准确性和可重复性的高度保证。总体而言，WST-506MG光刻设备是广泛的自旋涂层应用的绝佳选择。其严格的安全协议、有竞争力的价格和可靠的准确率使其成为任何涂料工作的中标选择。