二手 SEMIX / TAZMO TR 8152 #9277677 待售

製造商
SEMIX / TAZMO
模型
TR 8152
ID: 9277677
晶圆大小: 6"
System, 6" Process: SOG Deposition Chemical: SOG, IPA Coat module Robot (6) Hard bakes Canister IPA Condizioner Computer / Display.
SEMIX/TAZMO TR 8152光抗蚀剂设备是一种可靠和通用的工具,旨在满足硅片生产中最复杂的蚀刻和光刻需求。该系统采用自动化、高精度的工艺,提供了广泛的功能和功能,以确保为电子行业创建尖端的半导体器件。该单元包括一个光学元件和一个自动化的过程控制器。光学级包括LED光源、光纤束照明、全画幅CCD相机和光刻面罩操控机。自动化过程控制器通过在操作过程中监控、调整和控制刀具参数,帮助优化蚀刻和光刻过程。该资产还包括一个功能强大的用户友好界面程序,允许用户存储配方和优化所有类型的材料结构的蚀刻过程。这样可以根据客户的要求轻松设置和操作模型。SEMIX TR 8152光抗蚀剂设备还具有集成的视觉系统,能够识别和补偿差异,产生高精度结果。此外,还包括一种高速旋转涂层,它可以在垂直和水平方向上旋转涂层光致抗蚀剂,从而使光致抗蚀剂能够准确地沉积在基板上,并控制光致抗蚀剂的均匀性和厚度。该单元还提供了一种低温等离子体蚀刻机,均匀地蚀刻晶片,具有一致性和可靠的结果。TAZMO TR8152 Photoresist Tool提供了广泛的高级过程控制功能,以确保最高质量的结果和安全可靠的操作。该资产经过设计和验证,可用于无故障操作,并具有若干环境保护措施,有助于防止污染和其他危险情况。SEMIX/TAZMO TR8152 Photoresist Model是寻求生产过程中最高质量和精确度的公司的理想解决方桉。它不仅为高精度光刻和蚀刻工艺提供了可靠的来源,而且其先进的功能使其非常适合需要非常具体和复杂成分的客户的应用。产生的结果质量最高,可以轻松优化以满足特定的客户需求。
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