二手 SEMIX / TOK CSH 8121D #158244 待售

SEMIX/TOK CSH 8121D是为制造半导体器件而设计的专用光刻设备。它由长短脉冲曝光单元、掩模对准器和基板处理器组成。该系统被用于多种应用，如布线、互连和其他先进的半导体工艺。TOK CSH 8121D的长脉冲曝光单元能够将基板的表面精确阵列化到亚微米级。它利用激光曝光技术，以最大10微米的分辨率将晶片上的光敏材料精确曝光。激光的脉冲宽度可以根据所暴露的材料和所需的结果进行调整。掩模对准器能够使用非接触掩模配准技术对基板上的物料层进行精确对准。它配备了一个自动嵌入式成像单元，提供实时观察和反馈。这台机器在整个过程中也提供了高精度的对准。SEMIX CSH 8121D的基板处理器是一种全自动的解决方桉，利用介电激光烧蚀将光敏材料涂抹在晶圆上。该处理器能够进行基于掩码和阵列的光阻沉积,并且还可以配置为分配UV硬化光阻。可以使用多种分配格式进行批处理或连续操作。所有这些组件都集成到自动化工具中,该工具可快速且经济高效地生产复杂的半导体器件。该资产灵活、稳定和可靠，并由2000多种不同流程的不同配方库提供支持。这使半导体制造商能够始终如一、快速地创建各种设备。总体而言，CSH 8121D是一种用途广泛且可靠的光阻模型，其设计目的是在制造先进半导体器件时提供卓越的精度和可靠性。它易于使用,并且可以配置为几乎适合任何应用程序。因此，它是寻找可靠光刻设备的制造商的理想选择。