二手 SEMIX / TOK / TAZMO SOG #9097200 待售

SEMIX / TOK / TAZMO SOG
製造商
SEMIX / TOK / TAZMO
模型
SOG
ID: 9097200
晶圆大小: 6"
SOG Coater, 6".
SEMIX/TOK/TAZMO SOG是朝日玻璃公司开发的一种专门的光刻胶系统。Ltd.它用于在各种电子和半导体器件的制造过程中产生超细线型图桉。该系统由三个核心组件组成:4位型曝光单元、精细曝光控制求解器和后处理工具。4位型曝光单元设计为针对每个曝光区域优化曝光时间、聚焦和强度。它能够暴露于各种抗性材料中,其细线图桉宽度为0.75 μ m。求解器利用优化的光学模型来实现最大的曝光控制精度和重复性。这允许改进分辨率和可重现的阵列参数。后处理工具用于设置线型参数和调整曝光时间,以微调线型并抵抗分辨率。TOK SOG系统与传统光刻系统的不同之处在于,它具有较短的处理时间,以实现细线图样和更高的分辨率。更薄的抗蚀剂和超细线条图样分辨率允许增加图桉密度和设计灵活性。改进的分辨率和可重复性还能提高模式精度和产量。SEMIX SOG非常适合印刷电路板、半导体生产、医疗器件生产等超细线图样应用。它提高的分辨率和效率使它成为那些希望缩短加工时间和提高生产过程产量的人的一个有吸引力的选择。
还没有评论