二手 SEMIX / TOK TR 6132U #57578 待售
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ID: 57578
晶圆大小: 4"
Spin On Glass (SOG) Coater, 4"
One coating station
(3) Hot plates
Dual senders & receivers
U-Turn configuration
Dry air: PS, 1/4" Female, 4 to 7kgs / cm², 250 Nl / min
Cooling water: 20 A Vp, 1kg / cm², 10 l / min
DI Water: 20 A Vp, 2kgs / cm², 15 l / min
Temperature control range : 40°C - 70°C
Nozzle: Flat-type (PVC MVP-9010), cone-type EX-424
Rinsing time: 100 - 300 Seconds
Constant temperature reservoir: 10l Maximum 40°C - 70°C
Power supply: 200 VAC, Single phase, 18 Amps.
SEMIX/TOK TR 6132U是由半导体材料行业领先技术公司TOK开发的光刻设备。该系统用于制造光刻掩模和半导体器件。该装置利用先进的光刻工艺对半导体材料进行精确制图。它带有一个集成的照相模拟器和多个曝光参数,简化了在基板上创建复杂图桉的过程。此外,它还包括由预曝光和后曝光组成的两步成像过程。预曝光有助于确保整个基板上图桉的均匀性,而后曝光有助于细化图桉并固定所需尺寸。机器有一个内置的数字图像处理工具,使用户能够调整影响图样打印过程的各种参数。这些参数包括暴露的小平面方向、阵列大小、对齐精度和图像定义。该资产还配备了自动基板装卸机制和高精度机器人定位模型,以确保精确的图样打印过程。设备的用户界面相当人性化,可以让用户轻松调整参数。它还包括一个实时监控系统,以便用户可以连续监控模式打印过程的进度。该单元附带一个软件程序,使用户能够优化和编辑模式打印过程。此外,TOK TR 6132U是一种高效的机器,能够产生高成功率的高质量模式。此外,它还配备了自动清洗工具,帮助在打印过程中清除基板上不希望得到的残留物。最后,资产也符合各种国际标准,如IEC 60601、ISO 10605、UL 60950。这确保了该模型可以安全地用于广泛的行业,包括医疗、航空航天和通信技术。
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