二手 SEMIX / TOK TR 6132UD #9085096 待售

SEMIX/TOK TR 6132UD是一种光阻设备，设计用于在多种材料上提供精确的薄膜图桉和涂层，包括用于半导体或其他微电子元件的基板。该系统适用于需要细线宽度分辨率的应用,如半导体器件处理、MEMS制造和EMI屏蔽。该单元采用光源、光学、舞台控制和光刻过程的集成机器。LED光源在整个晶片范围内提供均匀的照明漫射光,能够同时产生短波长和长波长分量,从而能够曝光各种光刻胶。具有相关+/-5微米分辨率的高数值目标可提供10微米或以下的非常高分辨率成像。级控制工具监视晶片表的位置和速度，允许晶片在工艺的每个曝光步骤中精确和可重复定位。该资产还受到温度控制，以确保光刻胶的精确曝光水平，从而在整个晶片上实现精确的阵列和均匀的薄膜厚度。该模型采用精密晶片自旋工艺，速度范围为0-4000 RPM，允许光刻胶在整个晶片上均匀扩散。所得薄膜图样质量优良，具有较好的识别小图样的工艺能力。最后，设备配备了先进的软件，用于监测和记录每个工艺步骤的暴露参数，从而能够跟踪工艺历史。总体而言,TOK TR 6132UD提供了一个高度可靠的系统,具有精确的图案设计功能,能够在多种材料上创建一致且精确的薄膜涂层。结合集成的LED光源、高分辨率光学、级控制、晶圆自旋，该单元配备了为要求苛刻的薄膜微电子应用提供最高质量的图样和最佳的工艺控制。