二手 SEMIX / TOK TS7171D-H #9252318 待售

SEMIX / TOK TS7171D-H
製造商
SEMIX / TOK
模型
TS7171D-H
ID: 9252318
晶圆大小: 6"
优质的: 1994
Coater / Developer system, 6" 1994 vintage.
SEMIX/TOK TS7171D-H光刻设备是一种先进的光刻系统,具有高通量、高标准的可重复结果和整体优异的性能。这种装置非常适合硬模蚀刻、湿法和干法开发,以及先进的工艺,如厚膜提升和先进的光刻应用。该机器具有令人印象深刻的功能集,旨在帮助优化光刻胶工艺并最大限度地提高吞吐量。工具的核心是其强大的扫描仪,它可以轻松处理大型晶片。该资产包括一个热稳定炉、内置风扇和先进的空气过滤模型,它允许优化气流到设备的所有区域。这有助于提供清洁、无颗粒的结果并确保高产率。TOK TS7171D-H Photoresist System还具有直观、用户友好的触摸界面控制面板。其特点包括控制覆盖公差、曝光增量、扫描速度、温度公差、热均匀性等。该单元还包括一项获得专利的交叉扫描技术,该技术显着提高了扫描速度,并消除了错位。触摸控制面板非常人性化,为用户提供了一个方便的方式来监控和调整目前的流程。该机还具有多项安全功能,包括集中互锁工具、过温报警、烟雾罩状态监控、视频监控和紧急关闭系统。这确保了操作员的安全工作环境以及SEMIX TS7171D-H PhotoresistAsset的最佳性能。TS7171D-H Photoresist Model非常适合需要高吞吐量、可重复结果、最佳过程控制和优化以及卓越安全标准的应用。该设备还配备了先进的监测和诊断系统,可帮助在潜在问题变得严重之前发现这些问题,从而防止代价高昂的停机。
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