二手 SEMIX TR 6133UD #9226635 待售

SEMIX TR 6133UD
製造商
SEMIX
模型
TR 6133UD
ID: 9226635
晶圆大小: 6"
SOG Coater, 6".
SEMIX TR 6133UD是一种光刻设备,其设计目的是为微小的电子、机械和半导体器件特性和组件提供高精度和高精度的直接光刻成像。该系统能够在亚微米级和纳米级进行高分辨率成像。其晶片板设计具有最大限度地提高接触级表面成像能力的特性,从而获得极其精确的结果。TR 6133UD单元利用独特的光刻涂层实现高精度的直接光刻成像。这种涂层是专门为确保最小的线宽变化,准确的线,和可靠的,可重现的曝光设计。此外,涂层对水、化学品和其他可能妨碍工艺精度的液体污染物具有抵抗力。与光刻涂层一起,该机利用多种专有技术来确保最大的印刷精度。其中包括具有专门镜头设计的高度精确的光学工具、先进的光学对准技术以及用于定位光刻层的严格自动化。SEMIX TR 6133UD资产支持一系列光刻胶组合,使用户能够根据特定的设备需求定制其成像过程。这包括各种类型的光源,如热、紫外线(UV)和深紫外线(DUV)光。此外,该模型还包括一个高分辨率、热隔离的小型步进电机,以确保最小的热漂移。此外,TR 6133UD设备采用集成对准标记识别系统设计.该单元利用高精度光学子机精确测量和区分诸如对准标记等特征,使整个晶片板上的多次曝光都能精确对准。为了确保可靠的运行,SEMIX TR 6133UD工具得到了极高质量的控制资产的支持。此模型包括自适应时间和温度控制、自动标线定位和高分辨率成像功能等功能。TR 6133UD光刻设备提供卓越的精度和可重复性,使用户能够以极好的分辨率和保真度产生极其精确的微观和纳米结构成像。其优化的成像性能和集成的控制系统确保用户能够为其要求最苛刻的成像应用可靠地产生高质量的结果。
还没有评论