二手 SEMIX TR 6133UD #9250101 待售

SEMIX TR 6133UD是为微电子工业设计的最先进的光刻设备。该系统的开发是为了满足对超细线宽的日益增长的需求,能够处理低至0.3微米的特征线。主要处理模组为喷雾机单元、PAD处理器和E-Beam（e-beam）模组。喷雾器装置的设计是为了快速、准确地将光致抗蚀剂涂抹到基材上。这是利用由6轴机械臂创建的平行光束完成的。旋转级用于精确定位喷雾器上的基板，而加热的喷嘴则将均匀、均匀的光刻胶层施加到基板上。此单元使用户在处理基板时能够获得较高的分辨率。PAD处理器负责控制流程参数。它使用户能够设置光刻胶成分和精确的曝光参数，以便准确地加工基板。PAD处理器的优点之一是可以与广泛的光刻胶搭配使用。此外，PAD处理器还允许用户快速调整不同基板的参数。E-Beam模块设计为与PAD处理器配合使用，以准确地曝光光刻胶。它利用强大的电子束来实现均匀的特征线，并在处理底物时提供高分辨率。E-Beam模块还能够在阵列基板时自动放大小特征。总体而言，TR 6133UD是微电子行业强大的光刻装置。它利用喷雾器、PAD处理器和E-Beam模块的组合来有效地处理基板。该机提供高分辨率和精确度，设计用于加工低至0.3微米的特征线。对于那些寻求顶级光刻能力的人来说，这是一个极好的选择。