二手 SEMIX TR 6133UD #9284320 待售

SEMIX TR 6133UD是一种高性能光刻设备,具有优异的特性分辨率、低失真、高工艺稳定性和低化学废弃物。它是一个完全自动化的可编程系统,旨在在执行高级光刻过程时将时间和人工成本降至最低。光敏装置采用先进的真空曝光机，利用光曝光调制作为主要的刀具技术。该资产能够以高精度、高可重复性和低热失真来暴露高级特性。增强的分辨率和高工艺稳定性使TR 6133UD非常适合创建极小且精确的特征大小。与传统的光学系统不同,SEMIX TR 6133UD最显着的特点是能够提供先进而精确的特征尺寸控制。该模型采用专门设计的多层介电沉积光学面罩，使光刻胶能够暴露于更高的曝光频率，从而实现更精细的尺寸到nm的特性。TR 6133UD还设计用于尽量减少光刻过程中的化学废物。这是通过利用水和表面活性剂的组合来减少化学废物来实现的。此外，设备采用闭环再生循环，最大限度地降低再生过程中交叉污染的风险，提高工艺产量。SIMIX SEMIX TR 6133UD旨在促进最先进的光刻工艺，包括DWELL（直接写入电子光刻）技术。该系统与多种涂层和自旋涂层解决方桉兼容,可用于薄和厚基板的特殊薄膜涂层。该设备还具有内置温度和湿度监控的高级功能,使用户能够确保每次都在精确的条件下执行其流程。功能强大、自动化的编程机让用户能够轻松控制温度、曝光时间和湿度等参数，从而获得优越的效果。TR 6133UD光刻工具是一种先进、高度精确、可编程的工具，旨在满足先进光刻工艺最苛刻的需求。该资产提高了工艺稳定性，减少了化学废物，确保了卓越的特征分辨率和准确性。