二手 SEZ / LAM RESEARCH 4300 #293598011 待售
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ID: 293598011
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
Spin etcher, 12"
Dual arm robot
(4) Multi level process chambers
Chemical cabinet
Load port
FFU and exhaust
Chemical dispense system
Operating system: Windows NT
PC
Power supply: 400 V, 75 A, 50/60 Hz
2005 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH 4300是一种光刻抑制剂设备，设计用于协助半导体制造商进行光刻工艺。它是一种高精度设备，用于识别和精确剂量光刻工艺中使用的光刻胶。SEZ 4300使用基于专利算法的过程控制在一个集成单元中扫描、识别和精确剂量光抗蚀剂。它可以很容易地集成到现有的光刻系统工作流程中。LAM RESEARCH 4300单元允许广泛的光致抗蚀剂应用，从深紫外线（DUV）到电子束（EB）。它由几个组件组成，包括一个光源、一个光敏涂抹器、一个基板表和一个控制器模块。光源在整个基板上提供稳定和均匀的光图像，以实现均匀的光刻胶分布。光敏涂抹器由配电阀、配电喷嘴和配电头组成，可精确控制光敏配电过程。基板表在将基板暴露于光源之前支持基板。除了提供准确可靠的光刻胶应用外，该机还具有其他有益的特性。它有一个板载视觉工具，可以检测基板表面的任何不规则性，从而确保高质量的结果。其自动基板识别资产可以在曝光前快速识别基板尺寸和图样。其机载数据记录模型提供了广泛的数据和过程的统计分析。4300是一种最先进的光刻抑制剂设备,旨在使制造商在光刻过程中获得更大的控制和灵活性。它可以显着降低光致抗蚀剂的消耗并提高产量，从而提高半导体制造商的效率和成本节约。
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