二手 SHANGHAI CENTURY SC2645 #9269006 待售

上海世纪SC2645是一种先进的光刻涂层和曝光设备，设计用于先进的基于光刻的半导体制造工艺。适用于湿蚀刻和干蚀刻工艺，可处理直径达8英寸的晶片。SC2645光敏系统由几种不同的成分组成。该单元的核心由湿喷漆和毛细管组成。涂层由不锈钢外壳、喷枪和晶圆级倾斜机构组成。喷枪有一个可调节的喷嘴，可以调节角度和目标喷射的颗粒沉积。毛细管为喷枪提供了一致、受控的光敏材料流动。该机还包括两个光刻曝光单元，可以同时处理接触和接近曝光。这些曝光装置配有激光束扫描仪，能够以极好的精度和精确度生成图样。扫描仪可以调整光强度、焦点、对准角度、曝光时间和光束长度，从而产生优化曝光。上海世纪SC2645工具的烘干站是一个配备红外温度计和高容量风扇的高速热板烤箱。烤箱可设置为摄氏90至330度的温度范围，干燥持续时间由可调计时器控制。这样可以确保晶片均匀暴露和干燥,并提供一致的结果。为了完成光刻涂层工艺，SC2645资产有一个化学发展室配有一个附着的过滤泵模型。腔室加压，可加热至200摄氏度，加速发展。过滤泵有助于确保低质量的工程不会进入过程，从而改善质量控制。整体设备还包括过滤器单元、真空泵和冷却系统。所有这些组件的设计都是为了提供一个一致且经济高效的光刻工艺，能够为先进的半导体制造持续产生高质量的结果。