二手 SHANGHAI SSB300/30P #9375087 待售

SHANGHAI SSB300/30P是一种光刻设备，其设计目的是使微电子器件的制造具有精确的掩模尺寸。对于需要高分辨率、严密过程控制的工艺和应用，如高密度基板和复杂的集成电路设计，它是理想的选择。该系统结合了两种技术，即软烘烤、有机光刻和电子束光刻，用于将图桉图精确转移到基板上。所使用的光致抗蚀剂是一种光敏材料，在暴露于光或能量下发生化学反应。电子束光刻用于将光刻胶暴露于一束投射到基板上的电子束，以便形成图样。上海SSB300/30P采用光学曝光头与可调透镜在基板上精确的图案.对于一定范围的聚焦水平和光斑大小,该调节器是可调节的。然后在受控温度下对基板上的光刻胶进行软烘烤，使表面在制作图样之前没有缺陷。然后调整曝光头以符合基板的设计要求，并将图样投射到基板上。曝光过程完成后，随后进行曝光后烘烤操作，将图样设置为光刻胶。对曝光后烘烤温度和时间进行了优化，使其在基板上形成图样。然后对基材进行洗涤或蚀刻，使基材上形成的图样呈现出来。上海SSB300/30P提供卓越的分辨率和准确性与先进的控制单元，确保一个精确的，可重复的过程。它具有自动化的原位清洁机，以确保无残渣基板和易于维护，以最大限度地提高正常运行时间。该单元还提供了一系列的曝光时间，以满足不同基材和掩模模式的要求。上海SSB300/30P是微电子制造的理想解决方桉，具有高度可靠的工艺和精确的制图能力。它的性能、灵活性和耐用性使其成为复杂复杂的设备制造的首选。