二手 SHINCRON RAS-1100C #293762586 待售
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SHINCRON RAS-1100C是一种最先进的光刻设备。它是专为光刻加工而设计的，是一种用于制造微电子器件的化学蚀刻。它能够在广泛的基材中产生高分辨率模式。该系统配有坚固耐用的自旋工艺室，能够在200 kg压力下旋转光阻底物。该腔室的设计目的是为数百种基板的批次提供一致的结果，即使在处理具有不同光刻胶类型和厚度的基板时也是如此。腔室设有高精度机械级，可将基板定位，精度为7 μ m。这样可以确保暴露的模式具有严格的分辨率。该单元还配备了先进的计量机，可以测量光刻胶层的特性，如其厚度、蚀刻速率、光学特性等。此工具允许用户密切监视流程参数并根据需要对其进行调整。RAS-1100C设计具有用户友好的界面,可以轻松设置和编程资产。该模型配备了广泛的食谱库，用户可以选择和调整这些食谱库，以获得所需的结果。此外，功能强大的软件套件可用于创建自定义配方，允许用户微调流程。SHINCRON RAS-1100C是一种强大可靠的光刻设备，可用于在各种基板上产生精确的微电子图样。它设计易于使用,并提供出色的灵活性和性能。
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