二手 SHOWA SFE-6130D #9020782 待售

SHOWA SFE-6130D光刻设备是一种全自动、集成的多级工艺,旨在开发、设计和蚀刻电子元件,为各种应用创建集成的微电路。该系统利用电化学、热学和化学工艺相结合，创造出超细、高分辨率的微结构。SFE-6130D包括一个光源、一个掩蔽/照明单元、一个光刻版打印头、一个开发人员、一个检查员和一个介质（蚀刻介质）处理器。遮罩/照明单元包含精确的光学元件,可将光源中的光精确聚焦到安装在照相图像舞台上的电子元件上。然后,光致抗蚀剂打印头应用对光敏感的材料（光致抗蚀剂）,以选择性地绘制电子元件区域的图样。光致抗蚀剂一旦涂上，就会预先烘烤并暴露在紫外线下，以降低非照明区域的溶解度（蚀刻性）。然后使用显影剂去除光刻胶的非照明区域，只留下所需的区域。为了验证光刻图样的质量，通常使用检查器检查图样是否有缺陷或其他缺陷。最后一步是从电子元件中蚀刻掉不需要的材料，创建所需的微观结构。对于此步骤，蚀刻介质处理器提供了一种蚀刻溶液，如盐酸，用于化学蚀刻掉不需要的材料。该单元还提供了一个可选的蚀刻后干燥站和表面调整机，用于表面清洁和精加工。总体而言,SHOWA SFE-6130D光刻胶工具设计用于可靠、高质量地生产电子元件,同时保持严格的公差和高分辨率。光刻工艺提高了设计的灵活性，提高了生产效率，提高了制造成本。资产还通过其最先进的集成流程模型提供自动化流程的额外好处。