二手 SICAM ETF / 500 #9069977 待售

SICAM ETF/500是一款高性能、低成本、液浸式光敏设备。作为先进集成应用的领先技术之一，它提供了极佳的线宽和远低于一微米级规格的特征定义。ETF/500配备了三个组件模块；开发人员、激活的开发人员和解码器。显影剂提供了蚀刻光刻层的最佳蚀刻速率。然后，激活的显影剂提供额外的蚀刻速率，用于通过不包含照片激活剂的抗蚀剂进行蚀刻。然后使用解锁器去除通常在开发出抗蚀剂后残留的粘性残留物。该系统旨在消除温度和湿度漂移。光致抗蚀剂工艺由五个阶段组成；涂层，烘烤，暴露，显影和干燥。SICAM ETF/500在整个过程中提供了最佳的抗拒轮廓、附着力和轮廓控制。该产品使用户能够涂覆厚度范围低至25微米的溷合技术基板。ETF/500还提供极低的残余应力水平,确保了尺寸控制的最高精度。除了出色的蚀刻性能之外，由于其顺序的多级工艺，使用SICAM ETF/500实现了出色的各向异性蚀刻。该装置在5伏时的蚀刻速率高达每分钟500微米，能够在非常薄的基板上蚀刻复杂的几何形状。机器的多端口设计允许各种含铅物品以及非含铅物品。曝光头也可调节，以精确聚焦和放置光斑大小。ETF/500配备了高抵抗力的送货工具。资产中使用的输送流体具有很高的抵抗力，并提供了清洁的化学输送模型，以增加颗粒的去除和保证优秀的附着力。该设备的设计也是为了尽量减少污染。所有部件都配有空气过滤器，可清除与抗蚀剂接触时产生的不需要的微粒。SICAM ETF/500可靠易用。它在所有过程中都具有很高的可靠性,并且可以最大程度地减少停机时间。该系统还有一系列全面的附件作为后盾，以确保完全集成到用户的应用程序中。ETF/500非常适合中小型批量生产要求。