二手 SITE SERVICES Tractrix XP #9080482 待售

SITE SERVICES Tractrix XP
製造商
SITE SERVICES
模型
Tractrix XP
ID: 9080482
优质的: 2005
PI Developer and coater system 2005 vintage.
SITE SERVICES Tractrix XP是一款先进的成像设备,旨在为用户提供精确、高分辨率的光刻胶图样成像。该系统采用Tractrix XP成像算法,为创建高分辨率和对比度的光阻图样进行了优化。该单元利用一种结构独特的激光器,产生一束相干光束,在光掩模上扫描,以便在成像过程中曝光聚合物薄膜。激光束产生一个与光掩模图桉设计相对应的图桉。SITE SERVICES Tractrix XP机器利用先进的光学器件来优化光刻胶图样的成像配置。这些光学元件包括一个框架阵列,用于确保光束在整个成像场上均匀照亮。光学器件还包括激光光圈,这有助于最大限度地减少像差和允许更精确的曝光。此外,光学设备还包括光栅扫描仪,用于快速扫描激光光束,确保光束和光掩码的精确对准。成像过程从将聚合物膜置于真空卡盘开始。这种真空卡盘为成像过程中的聚合物膜提供了一个稳定的平台。然后使用帧阵列均匀地照亮薄膜,然后使用激光光圈来最小化像差。然后使用光栅扫描仪扫描光掩体上方的激光束,并完成曝光。曝光完成后,将处理感光膜以创建所需的图样。加工包括加热和冷却聚合物薄膜,以及在适当的溶剂中搅拌薄膜,以便蚀刻掉聚合物薄膜的暴露部分。薄膜的其余部分对应于嵌入在光掩模中的设计。Tractrix XP成像工具是产生分辨率和对比度较高的光刻胶图桉的宝贵工具。该资产的先进光学和精确激光成像功能使用户能够创建高度精确的图样,而无需进行后图像处理。因此,该模型是从事各种光致抗蚀剂工艺的人员的基本工具。
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