二手 SITE SERVICES Tractrix XP #9194176 待售

SITE SERVICES Tractrix XP
製造商
SITE SERVICES
模型
Tractrix XP
ID: 9194176
优质的: 2005
PI developer and coater 2005 vintage.
SITE SERVICES Tractrix XP是一款先进的自动化光刻设备,旨在为半导体制造设施提供创新且经济高效的曝光解决方桉。Tractrix XP提供了高度的准确性、可重复性和优化的过程效率,以降低生产成本。该系统由基板处理模块和曝光模块组成。基板处理模块的设计使基板具有极高的精确度.最先进的机械鲁棒模块具有两个高速级,可以执行x-y平移、旋转和线性或枢轴晶圆对齐运动。该模块可确保高达0.001度的准确度和高达0.01度的可重复性,从而实现光刻过程中光掩模的精确对准和配准。曝光模块是一种综合辐射源,用于在基板上施加紫外线。该装置采用钟形集成室,进一步减少镜片失真,提供更好的精度和可重复性。配备先进的反射镜和反射镜,SITE SERVICES Tractrix XP将精确剂量的紫外线辐射传递到基板上。源是可调的,可以设置在所需的分辨率和强度水平,以满足特定的工艺要求。Tractrix XP还具有许多其他优点,例如环境控制机器、喷雾冷却工具、安全传感器和校准资产。该模型还被设计为与其他一些自动化系统兼容,从而进一步扩大了其多功能性。最后,SITE SERVICES Tractrix XP提供了最先进的光刻能力,实现了成本效益高和精确的光刻工艺。高精度、可重复性和与其他系统的兼容性使其成为任何半导体制造设备的理想选择。
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