二手 SITEK Semitool C225 #9397402 待售

SITEK Semitool C225 Photoresist Equipment是为制造集成电路而设计的先进高速涂层和开发系统。Semitool C225集成了复杂的涂层和开发过程,由一个全面的、可配置的软件平台控制。该单元能够涂覆集成电路制造过程中使用的多种光敏抗蚀剂，包括单层和双层类型，并具有容纳各种尺寸晶片的灵活性。该C225利用稳定的真空头旋转盘机将抗蚀剂均匀地分散到晶片上，速度高达2000 rpm。涂层晶片随后进入一个多区域的热墙抵抗开发模块（DRM），该模块旨在提供出色的过程重复性，开发时间短，同步速度快。C225的高级晶片对准模块精确地将每个晶片注册到工具上，从而可以准确定位图像。此外，资产采用可调节的开销和侧光曝光系统，以确保最佳图像。该C225能够执行非标准的开发过程,包括常规的干刻和试纸,以及湿式试纸的开发,使其能够容纳各种材料。该模型还可以在操作的化学浓度区域提供峰值均匀性，以及出色的抗蚀膜质量，包括整个晶片的曝光均匀性。最后，C225提供一系列安全功能，例如加强电气安全和废物处理，以确保操作人员的安全。此外，设备还包括安全联锁装置和系统诊断程序，允许在安全环境中操作。总体而言，该C225是一个功能强大、技术先进的光阻装置，专为集成电路的高精度、一致的开发和涂层而设计。机器的直观和可配置的软件平台和各种安全功能保证了质量结果和操作员的安全。