二手 SOCUDO RF3S #9392387 待售

SOCUDO RF3S是包含在Resist Embedded Core Evolver系列产品中的一种光阻设备，用于创建纳米式集成电路。该系统设计用于化学放大的阳性抗性溷合物。RF3S利用暴露敏感性使分辨率水平比典型的商用抗蚀剂装置精细得多。SOCUDO RF3S抗蚀机的特点包括分辨率小至30纳米、抗工艺变化性能优异、大面积成像应用图像反转显着等。同时，RF3S工具还产生了具有优异线宽和边缘线性分辨率的平滑侧壁轮廓。SOCUDO RF3S资产的暴露过程具有深层紫外线源，有助于最大限度地减少暴露遮罩特征时可能发生的驻波。这种抗蚀剂模型还设计具有高度的透明度，从而允许更广泛的曝光强度和层厚度。此特征使设计工程师能够调整曝光时间,以在抗蚀层中获得所需的电阻值。RF3S设备可用于单层和双层暴露过程,在同一暴露过程中可实现多种材料。这使得在实现特定设计的阻力配置文件时具有显着的属性灵活性。SOCUDO RF3S抵抗系统是寻求突破芯片制造界限的制造商的首选。它使他们不仅能够产生小至30纳米的特征，而且能够实现和保持精确的抗拒轮廓，具有无与伦比的一致性水平。其出色的透明度还意味着制造商可以确信其设计在整个芯片上具有一致的厚度。由于这些原因，RF3S系统被广泛用于生产各种行业的半导体芯片，从消费电子到航空航天和国防。