二手 SOKUDO RF3 #293609630 待售

SOKUDO RF3是SOKUDO公司开发的用于半导体制造应用的最先进的光刻设备。光致抗蚀剂是制造各种半导体器件所必需的材料。它是一种光聚合物，在某些波长的光照照下会发生物理变化。这使得它可以用作遮罩，以保护半导体表面的某些区域不受化学蚀刻和其他处理步骤的影响。SOKUDO RF 3光刻胶系统使光刻胶在半导体晶片上的应用能够精确、精确地产生具有低至亚微米范围特性的电路。RF3单元由两个主要组件组成：光刻涂层机和曝光工具。光敏涂层资产用于将光敏涂层涂在晶片表面上。它可以处理直径达200毫米的晶片，并允许通过其广泛的分配和喷雾参数进行精确的应用控制。这样可以确保晶片上涂层的浪费和准确的均匀性。曝光模型用于将光刻胶覆盖的晶片暴露于光。它具有最大的吞吐量,具有强大的自动化功能,便于暴露复杂的模式掩码。它具有X-Y定位和角度调节功能，结合LED和激光光束源以实现动态曝光操作。这些功能可实现快速、准确的曝光,图像分辨率可降至10 nm。RF3设备的这两个主要部件的组合使半导体晶片上的亚微米特性的制造能够满足当今器件技术的严格要求。该系统可靠性高,故障率极低,结果可重复性好,是任何高精度设备制造需要的理想选择。