二手 SOKUDO RF3 #79692 待售

SOKUDO RF3是一种光刻设备,它将高精度处理与创建复杂形状和图案的能力相结合。用于半导体晶圆制造、光掩模、液晶显示器等领域。光致抗蚀剂是被光选择性去除的材料。使用这种材料，可以在各种基材上创建复杂的图桉和形状。SOKUDO RF3采用深层紫外线固化和光刻胶非接触曝光。它具有高精度、自动化的曝光过程，可以适应一系列基板，包括光掩模、液晶面板和石英或玻璃等其他基板。由于其高分辨率,自动曝光工艺旨在为阵列制作过程提供高精度。RF3还得益于真空气氛和双面光掩模。真空大气层有助于减少灰尘和其他污染物，而双面光掩模则确保在基板的两侧保持光致抗蚀剂图样。此外，系统还可以根据需要，方便地修改和调整光刻胶图桉。在精度和速度方面，RF 3是无与伦比的，故障率远低于其他系统。由于其最先进的多轴摄像机对准装置,它还提供了高水平的可重复性和一致性。SOKUDO RF3还得益于一些旨在提高可靠性和减少停机时间的功能,包括高级残余区域控制、自动过程监控和集成掩模验证机。这使得它非常适合高可用性过程,例如LCD制造所需的过程。SOKUDO RF 3的设计满足了从小批量原型制作到大规模生产等众多客户的需求。该工具提供卓越的性能和可靠性,能够满足最苛刻的要求,从高吞吐量和低体积原型设计到高精度、高复杂性阵列设计。