二手 SOLITEC 4110 #2862 待售

SOLITEC 4110
製造商
SOLITEC
模型
4110
ID: 2862
coaters / developers, 4 head.
SOLITEC 4110是专为高分辨率光刻行业设计的高端直写光刻设备。该系统完全自动化,具有精确的机械定位、热控制和光光质量控制能力。它能够打印尺寸不超过12英寸的光掩模,非常适合更高分辨率的应用。该单元包括一个微干燥器模块,该模块可快速、均匀地将光敏涂层输送到所需的生产基板上。它还包括一个高端激光束写入机与原子激光扫描仪设计,使超高分辨率光刻。该工具能够打印高达90 nm的关键特征,并具有高达20 nm的覆盖。它具有可编程的微调驱动器,以提高精度和灵活性。该资产还配备了光谱成像仪,用于同时监测光谱和光学质量。它能够在两个维度上进行高速扫描,用于快速涂层和检查过程。该模型的自动图像配准功能确保了每种基板的可靠结果。该设备还具有专用软件,旨在提高制造工艺的精度和可控性。该软件使用户能够快速修改激光的功率、速度和功能大小等参数。它还允许您轻松优化轮廓,保存轮廓并将其用于其他平版印刷过程。该系统的独特之处在于它将高端光学技术与先进软件相结合,使用户能够有效、可靠地生产出精度更高的光掩模。其能力使其成为光刻行业的理想解决方桉。
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